Grundsätzlich besteht der Unterschied zwischen beiden Verfahren im Aggregatzustand des Stickstoffspenders. Beim Plasmanitrieren wird diffusionsfähiger Stickstoff aus dem Plasma an die Oberfläche geliefert, beim Gasnitrieren durch das Gas Ammoniak.

Das Plasmanitrieren bietet folgende Vorteile im Vergleich zum Gasnitrieren:

• es wird kein schädlicher Einsatzstoff wie Ammoniak verwendet, lediglich in der Luft enthaltene ungiftige Gase
• es entsteht kein giftiges Abgas (es muss nichts „nachverbrannt” werden)
• die Gasverbräuche sind erheblich geringer als beim Gasnitrieren
• der Betrieb einer Plasmanitrieranlage bedarf keiner Genehmigung
• es besteht die Möglichkeit Bauteile partiell zu behandeln
• Edelstähle können ohne chemische Aktivierung nitriert werden
• Sinterwerkstoffe können mit extrem hohen Maßanforderungen behandelt werden